分子科学研究所 極端紫外光研究施設

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BL6U  軟X線分光用可変偏角VLS-PGM

概要

  固体表面における高輝度軟X線を必要とする様々な分光研究のために、可変刻線間隔平面回折格子を備えた可変偏角Monk-Gillieson分光器を装備したビームラインBL6Uが建設されました。アンジュレータ放射と洗練された分光器設計(入射スリットレス構成および可変偏角機構)を組み合わせることで、単一の回折格子を使用しながら、40~500 eVの光子エネルギー範囲をカバーし、10,000以上の分解能と1010光子/秒以上の光フラックスを実現しています。図1は、Siフォトダイオードを用いて測定した分光器の透過スペクトルの例を示しています。出口スリット幅は30μmに設定されており、これは80eVにおける理論分解能10000に相当します。BL6U(SPECS KREIOS 150 MM)には、微視的な視野を持つ3次元運動量空間で分解能を持つ光電子分光法のための新しい運動量顕微鏡実験ステーションが建設されました。kx/kyおよびkzにおいて、0.01 Å-1の運動量分解能が達成されています。ARPESにおいて、50 nmの空間分解能、9 Kでの20 meVのエネルギー分解能、および2 μmの視野が実証されました。この実験ステーションは、表面原子サイト、薄膜、分子吸着体、およびバルク結晶の電子構造の解析を専門としています。この手法により、従来のARPES用半球形アナライザーでは困難であった、μmサイズの結晶のフェルミ面の直接観測が可能となります。

Fig. 1. Photodiode current after the BL6U monochromator versus photon energy.
Fig. 2. Fig. 2. Photograph of BL6U endstation

Technical Data

MonochromatorVariable-included-angle Varied-line-spacing Plane Grating Monochromator
Energy range40-500 eV
ResolutionE / ΔE > 10000 (at maximum)
ExperimentsHigh-resolution soft X-ray spectroscopy (mainly photoelectron spectroscopy for gaseous and solid targets)

BL6U in Activity Report 2024

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